電感耦合等離子體原子發射光譜法(ICP-AES)，是以電感耦合等離子矩為激發光源的光譜分析方法，具有準確度高和精密度高、檢出限低、測定快速、線性范圍寬、可同時測定多種元素等優點，國外已廣泛用于環境樣品及巖石、礦物、金屬等樣品中數十種元素的測定。
ICP-AES的基本原理：
總的來說，ICP-AES的檢測是基于每種元素*的發射光譜。而采用電感耦合等離子體的目的是因為等離子體可以達到很高的溫度，有利于讓元素中的原子或者離子發射出特征波長的光子（一般而言，溫度越高，發射現象越明顯）。 其基本分析流程如下：
1) 等離子體的產生：高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體（Ar）電離形成火焰狀放電高溫等離子體，等離子體的最高溫度可達10000 K；
2)樣品與高溫等離子體發生作用，產生發生光子：試樣溶液通過進樣毛細管經蠕動泵作用進入霧化器霧化形成氣溶膠，由載氣引入高溫等離子體，進行蒸發、原子化、激發、電離，并產生輻射；
3) 發射光譜的分析：產生的特征輻射譜線，經光柵分光系統分解成代表各元素的單色光譜，由半導體檢測器檢測這些光譜能量，參照同時測定的標準溶液計算出試液中待測元素的含量。
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